三星首次引进本土生产光刻胶 日本称霸该市场

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IT之家 12 月 4 日消息，据 ETNews 消息，三星电子首次引入东进世美肯半导体的光刻胶进入其量产线，这也是三星进行光刻胶本土量产的首次尝试。不过考虑到三星与海外光刻胶供应商的关系，目前具体产量尚不清楚，且三星是否会额外引进其他品种的光刻胶也并没有得到回应。

报道称，三星电子已将韩国公司开发的用于高科技工艺的极紫外光刻胶（PR）引入其大规模生产线。2019 年 7 月，日本方面宣布限制向韩国出口包括含氟聚酰亚胺、光刻胶以及高纯度氟化氢在内的三项重要半导体及 OLED 面板原材料，经过三年的努力，韩国实现了光刻胶本地化生产。

三星电子被发现在他们的一条半导体工艺（层）线上使用了东进世美肯（Dongjin Semichem）的光刻胶，该光刻胶去年通过了三星电子的可靠性测试，不到一年就被应用于大规模生产线。一条工艺线只是三星电子整个流程中非常小的一部分，但由于这是一个此前完全依赖进口的产品，其具有特殊的意义。以前，韩国 100% 依赖从日本和其它国家进口光刻胶。

由于三星将这一产品用于实际的半导体生产，东进世美肯成为第一家将光刻胶本地化并达到大规模生产水平的公司。永昌化学和 SK 材料性能也在开发光刻胶，但它们还没有达到可靠性验证的水平。

光刻胶，是指经过紫外光、深紫外光、电子束、离子束、X 射线等光照或辐射后，溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料，是光刻工艺中的关键材料，主要应用于积体电路和分立器件的细微图形加工。

IT之家了解到，从整体业态来看，全球光刻胶市场高度集中，日美把控着绝大部分市场份额。日本的 JSR、东京应化、信越化学及富士胶片四家企业占据了全球 70％以上的市场份额，垄断地位稳固。